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MIRACRYSTAR®は、純度99.9%の世界で最も大きな酸化マグネシウム単結晶です。
酸化マグネシウム単結晶の大型化は、高融点で蒸気圧が高いことから困難とされてきましたが、酸化マグネシウムの専門メーカーであるタテホは1968年に、独自の電融技術と結晶化技術により、世界で初めて大型単結晶の工業化に成功しました。
MIRACRYSTAR®は、優れた耐スパッタ性、電気絶縁性、熱伝導性、光学特性をもっており、各種薄膜形成用基板の先端技術分野で幅広く使用されています。
1. 表面平滑性に優れている。
2. 高温で膜と反応しない。
3. 高耐熱性および高絶縁性である。
4. エピタキシャル膜を作りやすい。
5. 膜とのマッチングが良い格子定数や熱膨張係数。
6. 光の透過性が良いので膜に対する光学測定が可能。
・高温超伝導膜形成用基板(通信や宇宙観測に用いられるフィルタ、YBCO膜)
・強誘電体膜形成用基板(温度計や温調器に用いられる赤外線センサー、PZT膜)
・ダイヤモンド成長用基板
・磁性膜形成用基板(MRAM、TMR膜)
・スパッタ用ターゲット材
・型番:MIRACRYSTAR® SSC#1
・価格:数量によりご相談に応じます。
サイズ |
101.6φmm×0.5mm まで御相談に応じます。 |
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面方位 |
(110), (111)その他の方位については御相談に応じます。 |
研摩 |
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化学成分 | MgO:> 99.9% Ca:200ppm Si:10ppm Al:60ppm Fe:70ppm B:10ppm ・ICP発光分光分析法 |