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酸化アルミニウムは、電気絶縁性が高く、機械的強度に優れていることから最も広範囲に使用されているセラミックスです。耐プラズマ性にも優れていることからCVDやエッチングの装置部品などにも使用されています。
| グレード | TATECERA®️ CAL |
|
|---|---|---|
| 化学成分 | Al2O3(%) | 96.42 |
| SiO2(%) | 2.70 | |
| 物性 | かさ密度(103kg・m-3) | 2.71 |
| 圧縮強度(MPa) | 118 | |
