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商品情報

miracrystar

MIRACRYSTAR®️

酸化マグネシウム単結晶基板

純度99.9%以上の世界で最も大きな酸化マグネシウム単結晶から製造される薄膜形成用基板。

summary

特長

MIRACRYSTAR®は、純度99.9%の世界で最も大きな酸化マグネシウム単結晶です。
酸化マグネシウム単結晶の大型化は、高融点で蒸気圧が高いことから困難とされてきましたが、酸化マグネシウムの専門メーカーであるタテホは1968年に、独自の電融技術と結晶化技術により、世界で初めて大型単結晶の工業化に成功しました。
MIRACRYSTAR®は、優れた耐スパッタ性、電気絶縁性、熱伝導性、光学特性をもっており、各種薄膜形成用基板の先端技術分野で幅広く使用されています。

海から生まれた神秘のクリスタル

1. 表面平滑性に優れている。
2. 高温で膜と反応しない。
3. 高耐熱性および高絶縁性である。
4. エピタキシャル膜を作りやすい。
5. 膜とのマッチングが良い格子定数や熱膨張係数。
6. 光の透過性が良いので膜に対する光学測定が可能。

用途

・高温超伝導膜形成用基板(通信や宇宙観測に用いられるフィルタ、YBCO膜)
・強誘電体膜形成用基板(温度計や温調器に用いられる赤外線センサー、PZT膜)
・ダイヤモンド成長用基板
・磁性膜形成用基板(MRAM、TMR膜)
・スパッタ用ターゲット材
・型番:MIRACRYSTAR® SSC#1
・価格:数量によりご相談に応じます。

寸法および化学成分(代表値)

MIRACRYSTAR® SSC#1

サイズ
標準品
10mm ×10mm ×0.5mmt
長さ公差 +0.4mm/-0.0mm
厚み公差 ±0.02mm

101.6φmm×0.5mm まで御相談に応じます。

面方位
標準品 (100)
面方位精度 ±0.5°

(110), (111)その他の方位については御相談に応じます。

研摩
両面研磨
表面粗さ(Ra) < 0.5nm
化学成分 MgO:> 99.9%
Ca:200ppm
Si:10ppm
Al:60ppm
Fe:70ppm
B:10ppm

・ICP発光分光分析法

※代表値であり保証値ではありません。

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