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商品情報

TATECERA CAL

TATECERA®️CAL

酸化アルミニウムセラミックス製品

高品質酸化アルミニウムセラミックス。

summary

特長

酸化アルミニウムは、電気絶縁性が高く、機械的強度に優れていることから最も広範囲に使用されているセラミックスです。耐プラズマ性にも優れていることからCVDやエッチングの装置部品などにも使用されています。
タテホの酸化アルミニウムセラミックス製品TATECERA® CALは、ISO9001の品質保証体制を整えて製造を行っており、高品質な商品を提供しています。

化学成分および物性(代表値)

グレード TATECERA®️
CAL
化学
成分
Al2O3(%) 96.42
SiO2(%) 2.70
物性 かさ密度(103kg・m-3 2.71
圧縮強度(MPa) 118

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